半導体製造装置向けステンレスの熱処理
SUS304の焼鈍と固溶化処理の違い
SUS304は、耐食性を持つことが特徴ですが、応力除去焼鈍によって、その特徴が損なわれることが分かります。固溶化熱処理では、耐食性を維持できます。耐食性が求められる部品の応力除去には、固溶化処理をおすすめします。
このように、SUS304は600～900℃程度の温度帯に長時間さらされることで劣化します。固溶化処理の場合、急速に1000℃以上まで達し、また急速に冷ますため、本来持っている耐食性が維持できます。これは、溶接したステンレス部品(製品)にも同様のことが言えます。溶接時に高温にさらされ、ゆっくと冷めることでSUS304は劣化します。その場合でも、固溶化熱処理をすることで、肌ツヤがよくなり、SUS304本来の特徴が再現されます。
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ステンレス熱処理について
